?半導體產業網訊：在半導體材料領域，碳化硅（SiC）作為第三代半導體材料的代表，因其卓越的性能而備受關注。然而，高品質低成本碳化硅晶體的生長一直是行業內的技術難題。今天，常州臻晶半導體有限公司憑借其創新的液相法碳化硅電阻爐技術，為這一領域帶來了全新的解決方案，其產品以獨特的差異化特點脫穎而出，引領著行業發展的新潮流。

6-8英寸液相法碳化硅電阻爐

一、創新技術，突破行業瓶頸

（一）液相法單晶爐制造技術

常州臻晶半導體自主研發的液相法單晶爐，采用了先進的設計理念和制造工藝。該單晶爐具有6 - 8英寸大直徑設計，能夠滿足不同尺寸晶體生長的需求。同時，它還具備多點溫度實時精確監控功能，從而實現對溫場空間的實時穩定調控。這種精準的溫度控制能力，使得固液界面狀態能夠得到實時調控，為碳化硅晶體的穩定生長提供了有力保障。通過這一技術，常州臻晶半導體成功解決了傳統氣相PVT長晶技術中存在的溫度高、不可實時監控、長晶厚度薄、擴徑難等問題，實現了碳化硅晶體生長技術的重大突破。

（二）多元活性助溶技術

在碳化硅晶體生長過程中，碳源的供應至關重要。常州臻晶半導體的多元活性助溶技術，通過使用優化助熔劑配方，增加了高溫區碳源的供應，從而提高了溶碳量。這一技術的應用，不僅提升了晶體生長的速率，還有效提高了晶體的良率。與傳統的碳源供應方式相比，多元活性助溶技術能夠更好地實現碳源的快速持續可控供應，為碳化硅晶體的高質量生長提供了充足可控的碳源。

（三）液相法SiC長時間穩定長晶工藝

常州臻晶半導體的液相法SiC長時間穩定長晶工藝，是其產品差異化的核心競爭力之一。該工藝通過精確控制生長參數，實現了碳化硅晶體的可控生長。這種可控性不僅體現在晶體生長的速度和質量上，還體現在晶體的尺寸和形狀上。通過這一工藝，常州臻晶半導體能夠生產出高品質、大尺寸、形狀規則的碳化硅晶體，滿足了市場對于高性能碳化硅材料的需求。此外，該工藝還具有生長效率高、能耗低等優點，符合新時代低能耗的發展要求，為客戶降低了生產成本，提高了經濟效益。

二、卓越性能，滿足高端需求

（一）高品質晶體

常州臻晶半導體的液相法碳化硅電阻爐所生長的晶體，具有“0”微管、“極低”位錯的優異品質。拉曼光譜分析結果顯示單晶100%為4H晶型，單晶X射線衍射搖擺曲線測試顯示FWHM為20弧秒，表明晶體結構完整，缺陷少。這種高品質的碳化硅晶體，能夠滿足高端半導體器件制造對于材料的嚴格要求，為新能源汽車、數據中心、AR眼鏡、智能電網等戰略性新興產業的發展提供了堅實的材料基礎。

（二）易擴徑與易長厚

液相法碳化硅晶體生長技術在擴徑和長厚方面具有天然的優勢。由于其生長原理、物質傳輸特性及熱力學穩定性等因素，使得晶體易于擴徑至8英寸及以上尺寸，同時也能夠實現較厚晶體的生長，極限長晶厚度可達6cm以上。這對于滿足未來大尺寸碳化硅器件制造的需求具有重要意義。大尺寸、厚晶體的碳化硅材料，能夠提高器件的性能和可靠性，為高端半導體器件及光學應用的研發和生產提供了更廣闊的空間。

三、完善產品及服務，助力客戶成功

（一）熱場工藝包及服務

常州臻晶半導體還可為客戶提供專業的熱場工藝包。設備交付同時，公司可以提供長晶所需的全套熱場及原材料，安排專人到客戶處使用交付設備進行長晶演示，全程示范操作工藝。在演示過程中，同步對客戶指定人員進行工藝培訓，幫助客戶掌握先進的碳化硅晶體生長工藝。對于客戶在自主長晶過程中遇到的問題，公司會及時進行評估并提供專業的解答，助力客戶成功生產出高品質的碳化硅晶體。

（二）配套液相法籽晶粘接爐（帶柔性粘接工藝包）

在液相法碳化硅晶體生長領域，常州臻晶半導體的柔性粘接工藝堪稱一項奇妙創新。該工藝采用先進的粘接技術，確保在晶體生長完成后，能夠實現零損傷地取出單晶。這一技術突破，不僅最大程度地保留了晶體的完整性，還為后續的加工和應用提供了極大的便利。與傳統的粘接方法相比，柔性粘接工藝在晶體生長過程中能夠更好地適應晶體的熱膨脹和收縮，避免了因應力集中而導致的晶體裂紋和損傷。這種對晶體生長應力的優化改善，使得晶體的質量和性能得到了顯著提升，滿足了高端半導體器件制造對于材料的嚴格要求。

6-8英寸液相法碳化硅籽晶粘接爐

（三）設備售后

常州臻晶半導體擁有一支專業高效的售后服務團隊，始終以服務客戶為第一原則。在設備安裝調試方面，公司承諾設備到達現場后1個工作日內安排人員進行安裝調試，確保設備能夠快速投入使用。設備安裝調試完成后1個工作日內，公司會提供設備操作指導，并提供詳細的操作手冊，幫助客戶快速掌握設備的使用方法。此外，公司還會提供設備保養指南，并對客戶進行日常維護指導，延長設備的使用壽命。在故障診斷及維修方面，常州臻晶半導體提供快速響應服務，自設備驗收合格之日起1年內，2小時響應，8小時反饋，第一時間為客戶解決設備使用過程中遇到的問題。這種全方位、高效率的售后服務，為客戶提供了堅實的后盾，讓客戶在使用設備過程中無后顧之憂。

四、合作優勢，共創美好未來

選擇常州臻晶半導體的液相法碳化硅電阻爐，您將獲得以下合作優勢：

（一）技術領先

常州臻晶半導體在液相法碳化硅晶體生長技術方面處于行業領先地位。公司擁有一支由陸敏博士等多位資深專家組成的研發團隊，他們在化合物半導體領域擁有幾十年的研發及產業化經驗。團隊人員承擔或參與了多項國家發改委、工信部、科技部重點研究計劃、863、973和國家自然科學基金等科技及產業化項目。公司申請國內發明專利40件，授權30件，起草并發布國際標準1項，國家標準4項。與常州臻晶半導體合作，您將能夠享受到行業內最前沿的技術成果，為您的企業發展注入強大的動力。

（二）產品可靠

常州臻晶半導體的液相法碳化硅電阻爐經過嚴格的質量檢測和工藝驗證，具有穩定可靠的性能。公司建立了完善的質量管理體系，從原材料采購到產品生產，再到最終的出廠檢測，每一個環節都嚴格把控，確保產品的質量和性能，公司已通過IATF16949認證。選擇常州臻晶半導體的產品，您將獲得高品質、高性能的設備，為您的生產運營提供可靠的保障。

（三）服務專業

常州臻晶半導體始終堅持以客戶為中心，為客戶提供專業、高效、貼心的服務。無論是設備的安裝調試、操作培訓，還是后期的維護保養、故障維修，公司都能夠提供全方位、一站式的解決方案。此外，公司還為客戶提供工藝服務支持，幫助客戶提升生產效率，降低生產成本，提高產品質量。與常州臻晶半導體合作，您將享受到專業、高效的服務體驗，讓您的企業發展更加順暢。

（四）共同發展

常州臻晶半導體致力于與客戶建立長期穩定的合作關系，共同推動碳化硅半導體產業的發展。公司愿意與客戶分享技術經驗，共同探索新的應用場景和市場機會。通過與常州臻晶半導體的合作，您將能夠借助公司的技術優勢和市場資源，實現企業的快速發展，共同開創美好的未來。常州臻晶半導體有限公司的液相法碳化硅電阻爐，以其創新的技術、卓越的性能和完善的服務，為碳化硅晶體生長領域帶來了全新的解決方案。選擇常州臻晶半導體，您將獲得行業內領先的技術支持、高品質的產品設備和專業高效的服務保障。讓我們攜手共進，共創碳化硅半導體產業的美好明天！