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總投資10億元,沈陽芯源微高端晶圓處理設備產業化創新路項目開工

發表于:2025-03-05 來源:半導體產業網 編輯:

?3月2日上午,沈陽市渾南區春季重點項目開復工動員大會暨芯源微高端晶圓處理設備產業化創新路項目開工儀式在芯源微創新路地塊隆重舉行。沈陽市委副書記、市長呂志成,渾南區委書記閆占峰、區長任立輝,股東嘉賓、合作單位代表、公司領導及員工代表在現場共同見證了芯源微高速發展的新起點。

作為主會場的芯源微高端晶圓處理設備產業化創新路項目,總投資10億元。本次開工的芯源微高端晶圓處理設備產業化創新路項目,主要研發生產前后道涂膠顯影設備,建成后將提升國產光刻工序涂膠顯影設備市場占有率,打破國外產品的市場壟斷及技術壟斷。這一重大項目的開工建設,也是沈陽打造全國集成電路裝備及零部件重點產業基地的重要舉措。

芯源微董事長、總裁宗潤福在致辭中表示,芯源微2002年在渾南創立,至今已扎根沈陽23年。芯源微發展過程特別是兩個廠區項目的規劃、建設,得到了市區政府各部門的大力支持。芯源微的成長歷程,也是沈陽市渾南區高新技術產業蓬勃發展的縮影。芯源新廠區將面向人工智能、三維封裝,建設國內一流的先進半導體設備研發中心,保障國家產業安全!

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