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氮化鎵功率電子器件技術進展探討(二)|IFWS&SSLCHINA2024

發表于:2024-12-18 來源:半導體產業網 編輯:

?近年來,GaN功率電子器件行業呈現出快速發展的態勢,在GaN量子光源芯片等領域取得重大突破,進一步推動了GaN技術的應用。?近期,第十屆國際第三代半導體論壇&第二十一屆中國國際半導體照明論壇(IFWS&SSLCHINA2024)在蘇州召開。

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期間,由北京北方華創微電子裝備有限公司、蘇州思體爾軟件科技有限公司、國家第三代半導體技術創新中心(蘇州)、深圳平湖實驗室協辦支持的“氮化鎵功率電子器件技術II”分會上,珠海鎵未來科技有限公司總裁、IEEE Fellow吳毅鋒,大連理工大學副教授張賀秋,西安電子科技大學廣州研究院第三代半導體創新中心副主任、特聘教授李祥東,弗吉尼亞理工大學電力電子中心副教授張宇昊,西交利物浦大學副教授劉雯,廣東工業大學博士黃福平,深圳大學研究員、微電子研究院院長助理、IEEE Senior Member劉新科,中國科學院上海微系統與信息技術研究所蘇杭,南京大學王瀟男等嘉賓們帶來精彩報告,共同探討氮化鎵功率電子器件技術發展。

吳毅鋒

吳毅鋒

珠海鎵未來科技有限公司總裁、IEEE Fellow

珠海鎵未來科技有限公司總裁、IEEE Fellow吳毅鋒做了“氮化鎵功率器件的優劣勢和發展方向探討”的主題報告,分享了相關研究進展。報告指出,Si MOSFETs在20-200V市場保持優勢。Si IGBTs仍用于低成本電機驅動應用。SiC MOSFETs廣泛應用于電動汽車動力總成電機驅動,擴展到其他高功率/高壓(>1.2kV)應用。GaN HEMTs在幾乎所有600-900V電源市場中更換硅MOSFET,將成為AI電源的主要參與者。

?張賀秋-代替梁紅偉?

張賀秋

大連理工大學副教授

大連理工大學副教授張賀秋做了“氮化鎵高電子遷移率晶體管(GaN HEMT)傳感器研究”的主題報告,分享了GaN HEMT傳感器制備及結構優化、GaN HEMT傳感器的特性等研究進展。涉及AlGaN/GaN HEMT pH 傳感器、AlGaN/GaN HEMT葡萄糖傳感器、AlGaN/GaN HEMT CEA(癌坯抗原)傳感器、AlGaN/GaN HEMT 氨氣傳感器、AlGaN/GaN HEMT二氧化碳傳感器。其中,創新提出傳感器驅動LED發光信息讀出技術。獲得授權發明專利1項。

?李祥東

李祥東

西安電子科技大學廣州研究院第三代半導體創新中心副主任、特聘教授

西安電子科技大學廣州研究院第三代半導體創新中心副主任、特聘教授李祥東做了“藍寶石基GaN功率器件研究進展”的主題報告,分享了藍寶石基氮化鎵中試技術進展等內容。報告指出,未來GaN將全面滲透30~3300V電力電子市場,有望占據功率半導體10%以上的市場份額。

?張宇昊

張宇昊

弗吉尼亞理工大學電力電子中心副教授

弗吉尼亞理工大學電力電子中心副教授張宇昊做了“多維GaN功率器件:從器件物理到應用”的主題報告,分享了相關研究進展。報告指出,功率器件的進步依賴于材料和器件架構;多維結構突破GaN極限,實現幾何縮放;使用p-NiO在GaN中的初步演示,突破了1-D GaN的極限;用于高壓橫向器件(如10 kV GaN)的新平臺;GaN器件具有動態無RON、雪崩和短路魯棒性;千伏、MHz轉換器,在系統中優于SiC和Si。

?劉雯

劉雯

西交利物浦大學副教授

《基于E/ d模三柵極AlGaN/GaN MIS-HEMTs的單片電路》

?黃福平替代張紫輝

黃福平

廣東工業大學博士

《Si基GaN功率器件中缺陷對載流子輸運行為的影響》

?劉新科

劉新科

深圳大學研究員、微電子研究院院長助理、IEEE Senior Member

《具有PEALD-GaOx中間層的界面增強垂直Al2O3 GaN MOS電容器》

?蘇杭

蘇杭

中國科學院上海微系統與信息技術研究所

中國科學院上海微系統與信息技術研究所蘇杭做了“寬禁帶半導體垂直功率器件的曲率自適應端接”的主題報告,報告顯示,當以相同的電壓水平施加時,與P-FLR相比,CAT結構需要更少的外延層厚度,而不會增加器件面積。降低外延工藝要求,外延層厚度從10.5μm減小到9.5μm。器件的Ron降低了約9%(pn二極管)、7%(JBS)、4%(JFET)。

?王瀟男?

王瀟男

南京大學

《用于dv/dt串擾抑制的GaN高頻驅動電路設計與研究》

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(根據現場資料整理,僅供參考)??

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