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CASA立項(xiàng)“氮化鋁晶片位錯(cuò)密度檢測方法 腐蝕坑密度測量法”等2項(xiàng)氮化鋁團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

發(fā)表于:2024-11-25 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

?11月25日,按照第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)(CASAS)相關(guān)管理辦法,經(jīng)CASAS管理委員會(huì)投票通過2項(xiàng)氮化鋁晶片方面的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)建議,詳細(xì)信息如下:

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秘書處將向CASAS正式成員發(fā)出征集起草單位的通知,組建標(biāo)準(zhǔn)起草小組,請CASAS正式成員關(guān)注秘書處郵件(casas@casa-china.cn)。

T/CASAS 053—202X 氮化鋁晶片位錯(cuò)密度檢測方法 腐蝕坑密度測量法規(guī)定了氮化鋁晶片位錯(cuò)密度的檢測方法,適用于拋光加工后位錯(cuò)密度小于I0^7個(gè)cm^2的AIN晶片。通過本標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施,可以確保不同實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)廠商之間的檢測結(jié)果具有可比性,從而保障晶片質(zhì)量的穩(wěn)定性和可靠性。

T/CASAS 054—202X 氮化鋁晶片透射譜檢測方法描述了氮化鋁晶片透射譜的檢測方法,包括樣品制備、檢測設(shè)備、檢測程序、結(jié)果分析和報(bào)告。適用于氮化鋁晶片的質(zhì)量控制和評估。

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