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2024年11月18-21日，第十屆國際第三代半導體論壇（IFWS2024）&第二十一屆中國國際半導體照明論壇（SSLCHINA2024）、先進半導體技術應用創新展（CASTAS）將在蘇州國際博覽中心G館舉辦。

中微半導體設備（上海）股份有限公司將攜多款產品亮相此次展會。誠摯邀請第三代半導體產業同仁共聚論壇，蒞臨B35 號展位參觀交流、洽談合作。中微半導體設備（上海）股份有限公司工藝主任工程師陳丹瑩將出席論壇，并在“碳化硅襯底、外延生長及其相關設備技術“分會，帶來“PRISMO PDS8 – 用于SiC功率器件外延生長的CVD設備”的主題報告，敬請期待！?

嘉賓簡介

陳丹瑩

中微半導體設備（上海）股份有限公司工藝主任工程師

陳丹瑩，主要研究方向為氮化鋁薄膜的高溫化學氣相沉積。博士畢業后，她在法國國家科學研究中心-SIMaP實驗室繼續從事碳化硅薄膜CVD生長的科研工作。2021年加入中微半導體設備（上海）股份有限公司后主要從事AMEC MOCVD產品的工藝開發工作。憑借在化合物半導體技術、材料表征和數值模擬方面的扎實知識，她參與開發了AMEC用于碳化硅外延的CVD系統的工藝開發，主要負責實現低缺陷密度、高生長速率及摻雜控制。?

演講報告：PRISMO PDS8 – 用于SiC功率器件外延生長的CVD設備

演講場次：碳化硅襯底、外延生長及其相關設備技術?

公司簡介

中微半導體設備（上海）股份有限公司（股票簡稱：中微公司，股票代碼：688012）是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司。中微公司基于在半導體裝備產業多年耕耘積累的專業技術，跨足半導體芯片前端制造、先進封裝、發光二極管生產、MEMS制造以及其他微觀制程的高端設備領域，其集成電路制造設備已被廣泛應用于國際一線客戶從65納米到5納米及更先進的芯片加工工藝，中微公司開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據領先地位。中微公司的客戶遍布中國大陸和臺灣、新加坡、韓國、日本、德國、意大利等國家和地區。?

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China is an innovative Asia-based semiconductor equipment company with a range of proprietary fabrication solutions designed to advance technology, increase productivity, and reduce manufacturing costs for leading global manufacturers of semiconductors and LEDs. We provide state-of-the-art equipment, process expertise, and stellar support to customers in front-end semiconductor manufacturing, back-end wafer level packaging, LED production, MEMS applications, and other semiconductor fabrication processes. AMEC is an entrenched supplier of IC manufacturing equipment, helping chipmakers build devices at process nodes as low as 5nm and beyond. In addition, AMEC's MOCVD tools are deployed in volume production by leading global manufacturers of LEDs and power devices, and occupy a dominant position in the GaN LED MOCVD market. AMEC products are used today by technology leaders in Chinese mainland and Taiwan region, as well as Singapore, Korea, Germany, ltaly and etc.

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